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微分干涉顯微鏡?原理:
在現(xiàn)代顯微鏡觀察檢驗(yàn)方法中 , 尤其在工業(yè)顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域,除了常規(guī)的明視場(chǎng)BF(Bright field)和暗視場(chǎng)
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DF(Dark field)觀察方法, 微分干涉相襯觀察法 (DIC:Differential interference contrast) 作為一種新興的觀察
檢驗(yàn)方法 , 作為檢驗(yàn)觀察的一種強(qiáng)有力的工具 , 越來(lái)越多的被使用。尤其隨著微電子,平板顯示行業(yè)的快速發(fā)展
,微分干涉觀察法甚至成為某些制程,比如位錯(cuò)檢查,導(dǎo)電粒子壓合,硬盤(pán)制造檢測(cè)的關(guān)鍵手段。
其特點(diǎn)主要為 :
(1) 對(duì)金相樣品的制備要求降低 , 對(duì)于某些樣品 ,甚至只需拋光而不必腐蝕處理即可進(jìn)行觀察。優(yōu)點(diǎn)是可以觀
察到樣品表 面的真實(shí)狀態(tài) ,如將試樣拋光后在真空下發(fā)生馬氏體相變 ,不用腐蝕就可以觀察到馬氏體的相變浮凸 ;
(2) 所觀察到的表面具有明顯的凹凸感 ,呈浮雕狀 ,樣品各組成相間的相對(duì)層次關(guān)系都能顯示出來(lái) ,對(duì)顆粒、裂
紋、孔洞以及凸起等都能作出正確的判斷 ,提高了檢驗(yàn)準(zhǔn)確性 ,同時(shí)也增加了各相間的反差 ;
(3) 用微分干涉相襯法觀察樣品 ,會(huì)看到明場(chǎng)下所看不到的許多細(xì)節(jié) ,明場(chǎng)下難于判別的一些結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)或缺陷
,可通過(guò)微分干涉進(jìn)行反差增強(qiáng)而容易判斷 ;
(4) 微分干涉相襯法基于傳統(tǒng)的正交偏光法 ,又巧妙地利用了在渥拉斯頓棱鏡基礎(chǔ)上改良的諾曼斯基DIC 棱鏡 ,
使所觀察的樣品以光學(xué)干涉的方法染上豐富的色彩 ,便于觀察。
微分干涉相襯觀察法——
東莞市中特精密儀器科技有限公司
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批量工件測(cè)量,適用于精密零部件的檢測(cè)和質(zhì)量控制。該機(jī)型在機(jī)械、電子、五金、塑膠等行業(yè)中都得到了廣泛
的應(yīng)用。
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