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技術(shù)規(guī)格參數(shù)

測(cè)量范圍

200mm×100mm

分辨力

0.0002mm

準(zhǔn)確度

(0.8+L/100)μm(其中L為被測(cè)長(zhǎng)度，單位為mm）

工作臺(tái)

方工作臺(tái)尺寸

260mm×270mm

試件高度

140mm

工作臺(tái)承重

40kg

主顯微鏡立柱

傾斜范圍

±12°

傾斜角度分度值

30’

物鏡

物鏡放大率

工作距離（mm）

圖像放大倍率

1×

82mm

40×

3×

70mm

120×

5×

49mm

200×

屏幕圖像范圍（mm）

1/2"≈5.2×4.1

1/3"=4.1×3.1

1/2"≈1.7×1.4

1/3"=1.4×1.0

1/2"≈1.0×0.8

1/3"=0.8×0.6

CCD攝像頭

1/3”黑白（或彩色）CCD

像素?cái)?shù)：795×596

光學(xué)定位器

最小探測(cè)孔徑

Φ5mm

最大探測(cè)深度

15mm

測(cè)量力

0.1N

定位穩(wěn)定性

0.001mm

測(cè)頭直徑的檢定極限誤差

0.0005mm

環(huán)境要求

室溫20℃±1℃

相對(duì)濕度40%-60%RH

儀器外形尺寸(mm)

長(zhǎng)1300×寬1250×高800

儀器質(zhì)量

450kg