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一、概述:
工具測(cè)量顯微鏡采用精密高清光學(xué)鏡頭,配合工業(yè)級(jí)彩色CCD影像系統(tǒng),將被測(cè)工件的表面紋理清晰地呈現(xiàn),輪廓層次分明,精確無(wú)誤地放大,從而進(jìn)行精密測(cè)量。經(jīng)天然時(shí)效處理的球鐵工作臺(tái),配合高精密交叉滾子導(dǎo)軌,使機(jī)械強(qiáng)度及穩(wěn)定性達(dá)到最佳狀態(tài),X/Y/Z三軸均裝高分辯率的精密光學(xué)尺傳感系統(tǒng),X/Y軸的測(cè)量精度高達(dá)(1.5+L/100)um,Z軸測(cè)量精度為:(2.5+L/25)um 。強(qiáng)大易用的專用測(cè)量軟件,讓測(cè)量工作變得更加得心應(yīng)手。
二、儀器應(yīng)用范圍:它廣泛應(yīng)用于:液晶面板、手機(jī)玻璃面板、觸摸屏、精密沖壓件、PCB電線板、SMT貼附件、絲印網(wǎng)板、新能源,芯片等
三、儀器基本參數(shù)
1、 金屬工作臺(tái)面尺寸:350*250mm;
2、 X/Y/Z可測(cè)量范圍:200*100*150mm
3、 設(shè)備尺寸Lx*Ly*Lz:800*700*800mm;
4、 X/Y/Z三軸精密金屬貼片光柵尺,分辨率:0.001mm;
5、 測(cè)量平臺(tái)精度:(1.5+L/100)um;
6、 設(shè)備重量約:72kg;
7、 設(shè)備工作電壓:AC110~220V;
8、 功率:100W
9、 玻璃臺(tái)面可承重:12kg;
10、 高精密交叉滾子導(dǎo)軌;
11、 XY采用精密不銹鋼螺桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu),定位精度高
12、 Z軸采用多級(jí)齒輪減速,左右粗微調(diào)同軸同步傳動(dòng),定位精度0.001mm
13、 3W/LED落射照明及透射照明系統(tǒng)
14、 三目光學(xué)頭,可雙眼與顯示器切換觀察測(cè)量,目鏡觀察為反像,軟件視頻為正像
15、 FA輔助對(duì)焦高度測(cè)量功能
16、 雙目鏡:10x
17、 物鏡:
5X:工作距離10.8mm 10X:工作距離12.2mm
20X:工作距離4.0mm 50X:工作距離7.8mm
一、測(cè)量方式:影像測(cè)量大致分為二種方式,輪廓測(cè)量、表面測(cè)量。
1. 輪廓測(cè)量:
輪廓邊緣,一般采用底部的輪廓光源,需要時(shí)也可加表面光做輔助照明,讓被測(cè)邊線更加清晰,有利于測(cè)量。
2. 表面測(cè)量:
凡是能看到的物體表面平面圖形尺寸,在表面光源照明下影像測(cè)量?jī)x幾乎全都能測(cè)量,例如,電路板上的線路鉛箔尺寸,IC電路等、芯片框架、金線弧高,焊球大小,焊球厚度等。
二、軟件主要功能介紹
1、點(diǎn)量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采(1—300)點(diǎn)﹐進(jìn)行點(diǎn)量測(cè)。
2、線量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采(2---300)點(diǎn)﹐進(jìn)行線量測(cè)。
3、圓量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采 (3—300)點(diǎn)﹐進(jìn)行圓量測(cè)
4、圓弧量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采(3—300)點(diǎn)﹐進(jìn)行圓弧量測(cè)。
5、橢圓量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采(5—300)﹐進(jìn)行橢圓量測(cè)。
6、矩形量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后采5個(gè)點(diǎn)﹐進(jìn)行矩形量測(cè)。
7、角度量測(cè)按鈕。點(diǎn)擊該按鈕﹐然后在第一條線采(2—300)個(gè)點(diǎn)﹐在第二條在線采(2—300)個(gè)點(diǎn)﹐
來(lái)求得兩線角度。
8、測(cè)量數(shù)據(jù)可輸出至Excel,Word。圖形可輸出至CAD文檔編輯
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