產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品概述
高性能一體機(jī) ;1000mm/s掃描速度,8m/s掃描加速度。典型應(yīng)用場(chǎng)景的掃描效率達(dá)到35秒/件,為S100機(jī)型的X倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢,提供了高性能的解決方案。采用整體焊接框架、主動(dòng)平衡減振機(jī)構(gòu),有效降低高加速度引起的機(jī)體晃動(dòng),提高成像質(zhì)量。
主要配置:
1、龍門式高速直線電機(jī)掃描運(yùn)動(dòng)臺(tái);
2、主動(dòng)平衡減震系統(tǒng);
3、整體焊接框架,提高穩(wěn)定性;
4、全封閉防護(hù);
5、萬能夾具、一鍵校準(zhǔn)、遠(yuǎn)程協(xié)助;
6、自動(dòng)上下水及水循環(huán)凈化系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域
精密器件、半導(dǎo)體、集成電路和金剛石等行業(yè)高速全檢,適用于理化試驗(yàn)室或車間現(xiàn)場(chǎng)。
產(chǎn)品參數(shù):
工作電源 | 220V/50Hz,3KW |
最大掃描范圍 | 500mm;330mm;100mm |
圖像推薦分辨率 | 0.5um ~ 4000um |
整機(jī)尺寸 | 1250*850*1300(mm)(標(biāo)配) |
探頭頻率范圍 | 1~50MHz;(標(biāo)配,可升級(jí)至230MHz) |
典型掃描耗時(shí) | 35s |
掃描區(qū)域 | 10mmX10mm |
分辨率 | 50um |
最大掃描速度 | 1000mm/s |
最大掃描加速度 | 8m/s |
運(yùn)動(dòng)臺(tái)定位精度 | X/Y向<0.5um Z向<10um |
重復(fù)定位精度 | X/Y向<0.01mm,Z向<0.02mm |
采樣頻率 | 25~250MHz(標(biāo)配,可升級(jí)至1.5GHz) |
每通道可調(diào)增益 | -13~66dB;(標(biāo)配,可升級(jí)) |
脈沖重復(fù)頻率 | 5kHz;(標(biāo)配,可升級(jí)) |
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